3.8亿美元！台积电月底将接收首台高数值孔径极紫外光刻机

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点击参与： 一揽子半导体专业会议，苏州举办！MEMS\柔性\压印\显示器件\分析测试\三代半\光电…不容错过，附参展企业名录 据外媒报道，在5nm和3nm制程工艺上，台积电和三星电子从阿斯麦采购了大量的极紫外光刻机，而随着制程工艺的升级，台积电和三星电子也需要购买更先进的光刻机，在2nm以下的制程工艺上，就需要高数值孔径极紫外光刻机。 而外媒最新援引半导体产业内的消息报道称，在晶圆代工领域份额遥遥领先的台积电，将在月底从阿斯麦接收首台高数值孔径极紫外光刻机。 阿斯麦官网公布的消息显示，他们的高数值孔径极紫外光刻机，将命名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。在此前所发布的财报中，阿斯麦也曾披露他们的EXE系列高数值孔径极紫外光刻机，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200两个型号，前 ………………………………