专栏名称: MEMS技术

微机电系统MEMS技术,是融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS是一个独立的智能系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。

我也要提交微信公众号

今天看啥

微信公众号rss订阅, 微信rss, 稳定的RSS源

微博RSS订阅方法

MEMS陀螺仪工作原理

MEMS技术 · 公众号 · · 2020-07-21 10:29

文章预览

由于内容过于久远，服务器获取中，请5分钟后重试 ………………………………

原文地址：访问原文地址
快照地址：访问文章快照
总结与预览地址：访问总结与预览

分享到微博

推荐文章

一条漫画 · 媳妇刚做完剖宫产手术，为啥一直紧握着手机不放？

23 小时前

武汉本地宝 · 武汉长江灯光秀在哪里观看最佳？

4 天前

赛雷三分钟 · 不管你是i人还是e人，这本《三十六计》只想让你成为人上人！

1 周前

魔搭ModelScope社区 · 可图Kolors-LoRA风格故事挑战赛决赛入围名单出炉！决赛赛题首公开，奉上夺奖秘籍，小说一键转图文漫画！

4 周前

问芯 · 台积电、三星被曝将在阿联酋建晶圆厂，美国或再次插手

1 周前