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各种 大宗 气体 纯化器种类 气体 纯化工艺 O2 H2O CO CO2 H2 NMHC CH4 N2 N2 催化+吸附(CAT+Absorb) < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 - N2 吸附 (Absorb) < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 - - H2 吸附 (Absorb) < 1 < 1 < 1 < 1 - < 1 - - H2 吸气(Getter) < 1 < 1 < 1 < 1 - < 1 < 1 < 1 H2 吸附+吸气(Absorb+Getter) < 1 < 1 < 1 < 1 - < 1 < 1 < 1 H2 钯管 < 1 < 1 < 1 < 1 - < 1 < 1 < 1 O2 催化+吸附(CAT+Absorb) - < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 - He/Ar 吸附 (Absorb) < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 - - He/Ar 吸气(Getter) < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 He/Ar 吸附+吸气(Absorb+Getter) < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 < 1 气体 纯化 工艺 O2 H2O CO CO2 H2 CH4 Acids Bases Refr actory compound Organics XCDA 吸附(Absorb) - < 1 - - - - < 1 < 1 < 1 < 1 纯化原理 钯管 吸附工序 注:分子筛
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