主要观点总结
本文介绍了在COMSOL Multiphysics软件中模拟均匀介电基板表面刻蚀结构的光散射的方法。重点阐述了一种利用菲涅耳方程和斯涅耳定律模拟单个散射体在介电基板表面的光散射的方法。
关键观点总结
关键观点1: 背景概述
文章介绍了在COMSOL软件中模拟电磁波仿真中均匀介电基板表面刻蚀结构的光散射的方法，特别关注于模拟单个散射体的情况。
关键观点2: 模拟方法
文章指出使用散射场公式模拟单个散射体作为对背景场的一个微扰。需要输入一个背景电场，代表没有散射体时麦克斯韦方程的解。
关键观点3: 背景电场的计算
文章详细描述了如何使用菲涅耳方程和斯涅耳定律计算背景电场，包括TE和TM极化的反射和透射系数，以及如何将极化分量从入射平面转换回全局直角坐标。
关键观点4: COMSOL案例的详细解析
文章以一个具体的COMSOL案例为例，解释了如何将上述方法应用于模拟均匀介电基板上的光散射，并讨论了该方法的优点和适用性。
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