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“ 光刻机 ”,我们在“ 年中 ”的时候就梳理过。 而短期内,工信部印发《 首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版) 》。 这个《目录》的意义在于: 目前,国产KrF、ArF光刻机已完成首台生产、进入推广应用阶段 。 此前国产光刻机相关公开信息较少,保密程度高。 而2024年以来,3月22日华为公开四重曝光工艺技术改进优化的专利。 而6月20日工信部发布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》公示稿(后于9月9日正式发布)。 此外,9月10日上海微电子公开“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的专利。 持续对于国内光刻设备及曝光工艺公开信息增多,有助于提振市场信心,同时, 也揭示了: 目前,国产ArF光刻机进入推广应用阶段,所以 工信部才官方文件披露 。 当前,对于国产光刻机上“ 最核心的股 ”,会持续的受益,
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