氮化物陶瓷基板烧结技术研究进展

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1 氮化物陶瓷性能特征 氮化物陶瓷是氮与金属或非金属元素以共价键相结合的难熔化合物为主要成分的陶瓷，是一类具有高熔点、高硬度、高强度、耐高温和优良热学、电学性能的陶瓷材料，目前在冶金、化工、电子、机械等领域得到越来越多的工程运用。 氮化物陶瓷是一类重要的结构与功能材料。其主要特征包括 [1] ： （ 1 ）多数氮化物的熔点都比较高，部分氮化物如 Si 3 N 4 、 BN 、 AlN 在高温下不出现熔融而直接升华分解，其分解温度或熔点接近或高于 2000℃ ； （ 2 ）高硬度和高强度， Si 3 N 4 、 TiN 和立方氮化硼（ c-BN ）的硬度都很高，其中 c-BN 是硬度与金刚石相当的超硬材料；同时 Si 3 N 4 、 Sialon 、 A l N 、 TiN 具有较高的强度； （3） 多数氮化物的蒸气压达到 10 -6 Pa 时，对应的温度在 2000℃ 左右；与氧化物相比，氮化物的抗氧化能力较差， ………………………………