工信部重磅发布：大力推动金刚石、石墨烯发展！

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1月17日，工业和信息化部办公厅发布 关于组织开展2025年未来产业创新任务揭榜挂帅工作的通知。 内容涵盖 量子科技、原子级制造、清洁氢 三大部分。 其中原子级制造揭榜挂帅任务榜单中部分内容涉及 原子级超光滑金刚石表面制造 和 石墨烯热界面材料 。 原子级制造揭榜挂帅任务榜单 二、重点产品 （一）多场辅助化学机械原子级抛光装备 揭榜任务： 面 向半导体衬底原子尺度抛得光、纳米尺度抛得平、微米尺度抛得快的高质高效加工需求，研究电、光、声、等离子体等多场辅助化学机械原子级去除工艺， 突破多场辅助协同调控、超低压力分区加压、测量反馈智能控制等关键技术，开发多场辅助化学机械抛光装备，实现原子级精度抛光，满足半导体衬底应用需求。 预期目标： 到2026年，研制模块化的多场辅助化学机械原子级抛光装备，可以集 ………………………………