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山东:重点发展第三代半导体、光刻胶等新材料

全球半导体观察  · 公众号  ·  · 2025-01-09 12:31
    

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近日,山东省发布了《山东省新材料产业科技创新行动计划(2025—2027年)》(以下简称“《行动计划》”),提出实施标志性产业链战略材料攻坚行动,在新一代电子信息材料方面,研究大尺寸碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料制备技术和装备,突破碳化硅、氮化镓衬底超精密高效加工核心技术。攻克超宽禁带金刚石单晶、氮化铝生长及器件技术,突破大口径高质硅单晶、高端光刻胶制备技术,满足面向集成电路、芯片产业领域的自主可控技术需求。 其中与集成电路密切相关的内容如下: 在重点任务上,实施产业发展优势基础材料筑基行动。其中在人工晶体领域,创新大尺寸晶体生长、晶体缺陷抑制、器件设计等技术,实现原创理论突破和技术自主可控,重点发展激光与非线性光学晶体、压电/铁电晶体、激光自倍频晶体、电光晶体等,满足 ………………………………

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