TDI线阵相机的基本原理与技术特征

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时间延迟积分（Time Delay and Integration, TDI）线阵相机技术是现代高速、高精度图像采集领域的一项革命性创新。自20世纪70年代末由Eastman Kodak公司首次开发以来，TDI技术已经在过去几十年中经历了显著的演进和提升。其核心原理基于光电荷在多级像素阵列中的同步转移与累积，从而在保持高扫描速度的同时显著提升信噪比和灵敏度。这种独特的工作机制使TDI线阵相机在诸如半导体晶圆检测、平板显示器检测、卫星遥感等要求极高图像质量和采集速度的应用领域中占据了不可替代的地位。 一、TDI基本原理 TDI传感器的基本结构通常由32至256行像素构成，每行像素数可达16K或更高。其工作过程可以用以下数学模型来描述： S(x) = Σ(i=1 to N) Pi(x) 其中，S(x)为最终输出信号，N为TDI级数（即像素行数），Pi(x)为第i行在位置x处接收的光信号。这个公式清楚地表明了 ………………………………