综述：MOEMS气体传感技术研究进展

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微光机电系统（MOEMS）气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力，以及更高的检测精度。 据麦姆斯咨询报道，针对MOEMS气体传感技术的研究进展，南京邮电大学的研究团队进行了综述分析，阐述了主要光学式气体传感系统的工作原理及系统结构、MOEMS气体传感技术中最新的微光学器件及微光学系统，并通过分析MOEMS气体传感器的主要研究成果，展望了该领域未来的研究重点及发展挑战。相关内容以“MOEMS气体传感技术研究进展”为题，发表在《半导体光电》期刊上。 光学式气体传感器原理和结构 光学式气体传感器的工作原理主要包括吸收光谱式、光干涉式、荧光光谱式、光电比色式、离子电流式等。吸收光谱式气体传感器技术相对成 ………………………………