面向激光雷达的电磁MEMS微镜驱动系统，具有大角度偏转和低功耗优势

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作为一种光探测系统，激光雷达（LiDAR）可以实现高分辨率、高精度的测距、测速以及精确的物体感知。凭借探测距离远、相干性好、时空分辨率高等优点，激光雷达被广泛应用于机器人、自动驾驶、安防、环境监测等领域。MEMS微镜作为一种微光机电系统（MOEMS），已广泛应用于医疗、汽车、消费和军事电子等众多领域。当前，业界对具有广阔前景的小型激光雷达的需求不断增长。之前，已有研究开发了大量使用电热、静电、压电和电磁驱动的微镜。其中，电磁微镜凭借体积小、偏转角度大、驱动电压低、功耗低等优点而受到广泛关注。 电磁谐振微镜在激光雷达研究中正发挥着越来越重要的作用，但空气和结构阻尼导致的能量损耗比较严重。因此，微镜当前的开发难题在于功耗和偏转角度。电路或算法调制可用于实现微镜的开环驱动。微镜的初级 ………………………………