三星测试TEL新设备　 EUV图形化制程或迎变局

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三星电子（ Samsung Electronics）传在测试日本东京威力科创（TEL）的新型气体团簇离子光束设备（Gas Cluster Beam；GCB），测试结果或将影响应材（Applied Materials）在极紫外光（EUV）图形化解决方案的地位。 据韩媒 Theelec引述业界消息，三星正在测试 TEL 新款 GCB设备「Acrevia」。GCB设备主要用于改善EUV图形化制程（patterning process），可通过气体团簇光束对图案进行局部精确塑形，从而修复图案缺陷、降低图案粗糙度。 TEL 新款 GCB设备「Acrevia」于2024年7月8日发布。据南韩业界相关人士说法， TEL 新设备与应材 Centura Sculpta设备概念相似，目前三星正在测试 TEL 新设备，若未来应用于量产，预计可大幅降低成本。 业界期待 TEL 新设备能改善利润率的原因主要有 2个，一是Acrevia可直接对EUV曝光图案塑形，进而缩短流程、提升整体利润率；二是Acrevia系统还可以消除随 ………………………………