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半导体制造工厂使用的搬送系统 OHT (空中走行式无人搬送车) 一种自动化搬送装置，能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。 “OHT”是Overhead Hoist Transport的简称。这一系统被广泛认定为300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系统，目前不仅应用于工序区内部运输，也应用于工序区间或工厂间运输。 目前半导体用AMHS系统市场主要由国外企业占据主导，包括日本大福、日本村田机械、韩国SEMES等，其中日本大福是全球AMHS系统市场龙头。半导体用AMHS系统性能影响着晶圆整体产线的运营，出于谨慎原因，晶圆厂不会轻易更换AMHS系统厂商，因此新兴国产AMHS系统企业进入该领域存在极高的门槛。 来源： Semi Dance 免责声明： 以上内容源于网络，版权归原作者所有，如涉及作品版权问题，请您告知我们将
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