半定量分析XPS基本应用金属材料-矿石检测分析

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XPS基本应用 1. 元素定性分析 （1）各种元素都有它的特征的电子结合能，因此在能谱图中就出现特征谱线，可以根据这些谱线在能谱图中的位置来鉴定周期表中除H和He以外的所有元素。通过对样品进行全扫描，在一次测定中就可以检出全部或大部分元素。 （2）不同的原子外层电子所处的能级不同，其键合能自然也不一样;因而通过扫描样品表面飞出的光子动能，根据动能和键合能的关系： B.E=hv-K.E-WF B.E——键合能 hv——X光动能(1486.6eV) K.E——特征光电子动能 WF——谱仪功函数 测定样品光电子的键合能;即通过采集样品表面全谱图，根据谱峰键合能所处的位置，来确定的样品的组成。以ULVAC-PHI的数据处理软件MultiPak为例，该软件集成了元素的键合能的标准谱库，具备元素自动识别功能，方便元素的定性分析。 2. 元素定量分析(严格意义上是半定量分析) ………………………………