ppb级高灵敏度SO₂光声气体传感器，用于SF₆分解物检测

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六氟化硫（SF₆）作为新一代超高压绝缘介质材料，具有优异的电气绝缘性能和卓越的灭弧性能，在微电子技术领域应用广泛，例如电气行业通常将其用作为高压开关、大容量变压器以及高压电缆的绝缘材料。然而，当一些高压电力设备发生故障时，产生的电弧、火花等可能会致使绝缘材料分解，并与SF₆发生化学反应，从而生成二氧化硫（SO₂）等多种气体分解物。对这些气体分解物含量进行检测，能够作为一项关键指标，为设备故障预警提供有力支持。 目前，研究人员已经开发出多种用于检测SF₆分解物的气体传感器。在各种检测技术中，光声光谱技术（PAS）因具备高灵敏度、高选择性以及紧凑的检测模块等优势，成为一种理想的痕量气体检测方法。 据麦姆斯咨询报道，近期，西安电子科技大学、重庆邮电大学和西安交通大学的研究团队联合开 ………………………………