基于MEMS Sagnac环路反射器的完全可调谐FP腔，展现超低静态功耗

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硅光子学领域正在经历快速发展，这主要归功于其与CMOS制造技术的兼容性。与自由空间或基于光纤的技术相比，硅光子技术在成本、复杂性、速度、能耗等方面具有显著优势。因此，已经实现和制造了各种集成硅光子技术的高性能光学器件和系统。 法布里-珀罗（FP）干涉仪是光电系统中的基本组件之一。迄今为止，人们为在硅光子平台上实现这一组件付出了巨大努力。集成式法布里-珀罗干涉仪可应用于光学传感器、激光器和滤波器等。虽然许多片上法布里-珀罗干涉仪都是基于布拉格光栅开发的，但由于其亚波长级尺寸，通常需要复杂的设计工作和精细的制造工艺。此外，实时调谐它们的反射特性是困难的，或者通常是不可能的。 据麦姆斯咨询报道，近日，韩国大邱庆北科学技术院（DGIST）、韩国科学技术院（KAIST）等机构的研究人员组成的团队 ………………………………