3D集成工艺与器件

文章预览

据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日， 湖南大学副研究员/岳麓学者冯波 将参加 《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》 并进行授课，具体信息如下： 授课主题： 3D集成工艺与器件 授课老师简介： 冯波，博士，湖南大学粤港澳大湾区创新研究院（广州增城）副研究员，机械与运载工程学院助理教授（岳麓学者）。他博士毕业于复旦大学（微电子学与固体电子学专业），随后就职于上海华为技术有限公司（担任高级工程师和PD技术高校合作项目经理）。他的主要研究方向为摩尔定律3 nm及以下节点芯片背部供电技术、多电子束并行光刻工艺和装备。截止目前，以第一/通讯作者在 Nano Letters 、 International Journal of Extreme Manufacturing 、 ACS Nano 等期刊上发表SCI论文20余篇，申请或授权发明专利30余项；担任 International Journal of Extreme Manufacturing 、 Nano ………………………………