安徽省微机电系统（MEMS）技术产业创新研究院：MEMS平台及成果展示

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安徽省MEMS技术产业创新研究院 平台基本情况 安徽省微机电系统（ MEMS）技术产业创新研究院（以下简称“产研院”）于2024年1月正式获批设立，由安徽北方微电子研究院集团有限公司牵头，联合华东光电集成器件研究所、安徽华鑫微纳集成电路有限公司、西安交通大学、合肥工业大学、安徽大学、蚌埠学院、安徽天康（集团）股份有限公司、安徽博泰微电子有限公司，安徽奥飞声学科技有限公司十家单位共同建设。 产研院以打造国内一流MEMS智能传感器与微系统创新高地与产业基地为目标，重点布局惯性、压力、气体、声学、光电、多参数复合传感等领域，协同完成MEMS传感器相关共性关键技术攻关，为国内外企业提供服务，并与国内外MEMS领域知名高校、顶尖科研机构和优势企业推动深度合作，开展资源对接、科技成果转移转化。围绕技术创新、 ………………………………