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如何模拟不同类型的等离子体

COMSOL  · 公众号  · 半导体  · 2024-07-24 09:00

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等离子体具有高电离度和低电离度、高压和低压、高温和低温等多种不同的特性。对于不同类型的等离子体,需要使用不同的方程和方法模拟。这篇文章,我们概述了不同类型的等离子体,并介绍了如何使用 COMSOL 等离子体模块中的功能来模拟不同的等离子体。 热力学平衡(TE) 如果等离子体处于一个封闭系统中,那么每个过程都与它的逆过程(细致平衡)处于平衡状态,并且等离子体处于热力学平衡状态。这种等离子体可以用几个参数来表征:每一种物质的温度(通常非常高)、压力和数量密度。这种状态下的辐射是黑体辐射,可以用普朗克定律来描述。激发态类物质可以用玻尔兹曼分布描述,速度分布可以用麦克斯韦方程描述,电离度由萨哈方程描述。 局部热力学平衡(LTE) 在真实的等离子体中,会发生偏离平衡的情况。例如,辐射从等离 ………………………………

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