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风云变幻:光刻技术早期的几个关键

赛先生  · 公众号  · 科学  · 2024-07-03 18:00

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图 Joseph Braat教授在荷兰代尔夫特理工大学光学研究组(Optics Research Gourp)前的照片。他在1998到2008年间在此担任教授,领导科学研究以及教学工作。 导读:       Joseph Braat教授,荷兰光学工程师、科学家。Joseph Braat教授以其在光学成像领域的贡献为人尊敬,每每与其交谈,都深受启发,收获良多。     于法国高等光学研究所 (Institut d’Optique Graduate School) 博士毕业后,1973年Joseph Braat回到了荷兰的飞利浦公司 (Philips) 开展光存储技术的研究工作,参与并推进了Philips、 ASML等公司光刻技术的发展,在光路设计、早期光刻系统设计、衍射极限的光学成像等方面做出了突出贡献。之后Joseph Braat加入荷兰代尔夫特理工大学并在光学研究组任教。Joseph Braat教授发表了超60项美国专利及大量研究论文,其论著《成像光学》 (Imaging Optics) 现已成为光学领域 ………………………………

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