利用超构表面实现毫米级距离图案3D对准，具有深亚波长精度

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以亚纳米精度测量三维（3D）空间中两个物体的相对位置对于基础物理实验和应用（例如对准半导体芯片的多层图案）至关重要。现有的方法依赖于显微成像和距离图案的配准，缺乏下一代3D芯片所需的准确度和精度。 据麦姆斯咨询报道，近日，美国马萨诸塞大学阿默斯特分校（University of Massachusetts Amherst）的研究团队提出并通过实验演示了一种利用级联超构表面（Metasurface）产生的远场全息干涉图的距离计量技术。该技术能够快速、同时测量两个工件之间的相对平面内和轴向距离，精度达到亚纳米级。亚纳米级的横向偏移被编码在全息干涉图的不对称中，并可使用自动估算器进行检测。该技术不涉及显微成像，只需要一台激光器和一台相机。通过单个相机图像，该技术能够以λ₀/50,000的横向和λ₀/6,300的轴向精度（λ₀：入射波长）测量以毫米级为 ………………………………