吉大张彤、周婷婷AFM：构筑变温脉冲驱动COFs/MOFs 衍生物基MEMS传感系统，实现家居环境远程、可视化VOCs气体检测

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挥发性有机化合物 (VOCs) 气体是家居环境污染物的主要来源。甲醛就是一种无色、有强烈刺激性气味的VOCs气体，是引起室内空气污染的主要污染物之一。长期接触有毒、有害的甲醛气体会对人体健康造成严重危害，如：呼吸道刺激、神经毒性反应、白血病等。因此，对其进行实时、准确的检测至关重要。MEMS半导体气体传感器具有低功耗、小型化等优点，且易于与硅基半导体工艺相集成，在未来消费电子、智能系统等领域表现出广阔的发展潜力。但是，目前MEMS半导体传感器在VOCs气体检测方面面临严峻挑战：(1) 首先，MEMS器件核心电极区域面积较小，敏感材料有限的吸附位点使气电转换功能受限。(2) 此外，敏感材料吸附位点会受到环境中水分子竞争吸附的影响，使传感器灵敏度进一步降低。因此，设计新型气体传感材料，改进MEMS器件驱动方式，去降 ………………………………