普渡大学汪海燕Small Methods：回收钛酸锶(SrTiO₃)基底助力复杂氧化物薄膜可持续生长

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复杂氧化物薄膜因其丰富的物理特性和多功能性在逻辑器件、存储器和光学器件中具有重要应用。然而，这些高质量氧化物薄膜通常需要昂贵的单晶基底，这限制了其广泛应用。因此，通过可回收基底来实现薄膜生长的可持续性具有重大意义。 普渡大学 汪海燕 课题组报道了在回收的 SrTiO 3  (STO)  基底上进行外延薄膜生长的研究。该研究详细比较了在回收的 STO 基底与原始 STO 基底上生长的薄膜在微观结构及物理特性上的差异。 研究表明，回收基底表面由于之前沉积的氧化物层引入了预应变状态，这对后续生长的薄膜微观结构和性能产生了显著影响。具体而言，通过高分辨透射电子显微镜（ STEM ）和几何相位分析（ GPA ）观察到，回收基底上的表面应变状态与原始基底有所不同，这种应变状态的差异直接影响了薄膜的结晶质量和物理性能。此外， ………………………………