单晶炉的六大系统是什么

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单晶炉是一种在惰性气体（氩气）环境中，用石墨加热器将多晶硅材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。其主要由以下几个系统组成： 机械传动系统 机械传动系统是单晶炉的基础运行系统，主要负责控制晶体和坩埚的运动，包括籽晶的提升、旋转以及坩埚的升降、旋转等操作。它能够精准地调整晶体和坩埚的位置、速度和旋转角度等参数，确保晶体生长过程的顺利进行。例如，在引晶、缩颈、放肩、等径生长和收尾等不同的晶体生长阶段，需要通过该系统精确控制籽晶和坩埚的运动，以满足晶体生长的工艺要求。 加热温控系统 这是单晶炉的核心系统之一，用于产生热量并精确控制炉内的温度。主要由加热器、温度传感器、温控仪等部件组成。加热器通常由高纯石墨等材料制成，通过对交流电进行变压、降压增大电流后，使加热器产生热量 ………………………………