重磅！国产光刻机，重大突破！

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‍ 集微网·爱集微APP，各大主流应用商店均可下载 为促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工信部于9月9日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》（以下简称《目录》）通知， 在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）等集成电路关键生产设备。 工信部微信公众号“工信微报”介绍，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。 中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。 《目录》中的电子专用装备目录下提到， 集成电路生产设备方面包括化氟化氪光刻机，光源248纳米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氩光刻机 ………………………………