突破4纳米！重磅Nature：芯片检测技术实现重大飞越！

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0 1 【导读】 许多工程系统和自然系统都是子系统的层次结构，其特征是长度尺度在原子和宏观之间变化超过十个数量级。科学、医学和工程学的进步依赖于成像方面的突破，特别是在从集成电路或哺乳动物大脑等功能系统中获取多尺度的三维信息方面。要实现这一目标，往往需要结合电子和光子方法。电子显微镜通过对表面层进行串行破坏性成像，可提供纳米级分辨率，而X射线计算机断层扫描（ptychographic X-ray computed tomography）则提供非破坏性成像，最近已实现小体积分辨率低至七纳米。一个重要的例子是集成电路，它通常有几毫米宽，其最小的特征接近原子尺度。如今，消费产品中有7纳米节点（晶体管密度的量度）集成电路，而3纳米节点正在开始生产。对于质量控制和逆向工程，必要的多尺度检测从光学显微镜和传统的X射线断层扫描开始，然 ………………………………