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据调查资料表明, 表 1.3.9 所列的一些电子工厂洁净厂房都是垂直单向流洁净室或混合流洁净室。此类洁净室的洁净生产区与下技术夹层是以多孔活动地板和多孔混凝土板(华夫板)分隔的。下技术夹层是回风静压箱,并可能安装生产辅助设施、各类管线等,多孔活动地板上开孔多少视回风量确定,其开孔率一般在 30% ~ 50% ,而华夫板上的开孔率大于上述开孔率,每个孔洞的直径一般是 400mm 左右下技术夹层不设岗位操作人员,其高度为 2.5 ~ 6.5m 。上技术夹层是送风静压箱,它以基本布满高效空气过滤器或 FFU 和灯具的吊顶格栅与洁净生产区相连上技术夹层没有岗位操作人员,其高度一般为 2.5 ~ 6.5m 。由于上述构造特点和使用特性,因此美国消防标准 NFPA318 中明确规定 “ 洁净室包括活动地板下的空间和吊顶格栅以上作为空气通道的空间 ”“ 活
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