从MEMS制造到纳米制造及纳米传感器

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据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日， 中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李铁 将参加 《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》 并进行授课，具体信息如下： 授课主题： 从MEMS制造到纳米制造及纳米传感器 授课老师简介： 李铁，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、科技处处长，微系统技术重点实验室副主任，科技委主题专家，上海市领军人才，上海市优秀学术带头人，现任上海市传感技术学会副理事长、Transducers、IEEE MEMS国际会议TPC成员等职。他承担国家重点研发计划课题、国家973、国防973、863、国家重大科技专项课题、国家创新研究群体科学基金、国家自然科学基金、中国科学院项目等国家省部级项目80余项。他在硅基热电器件及模组、硅纳米线制造及器件等方面开展系统研究并实现应用，在 Nano Lette ………………………………