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一.洁净室空调自控的对象 洁净室自控的对象 1. 温度 洁净室的温度控制主要是由工艺而定,根据需要来对温度基数和精度提升要求。一般情况下,温度基数偏低。如电子工厂洁净室温度取,比舒适性空调低很多。因此,夏季的冷负荷也显得较大。另外,工艺设备的发热量也是比较大的,也就是说,温度扰量很大,而且,变化也很大,工艺设备的使用系数是根据产量品种变化而变化,产品是根据市场变化而变化。总结一下,特点:温度基数低,负荷变化大。 2. 湿度 洁净室温度控制也是根据工艺要求而定,如电子厂,制药厂相对的湿度基数也是偏低的,约为,但又不能太低,如果太低,容易产生静电。 3. 正负压值 洁净室内有工艺设备在生产过程中会有有毒有害的废热砌体产生,需要排出至室外,而为了保证室内的洁净度,一般情况
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