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助力实现高端半导体质量控制设备领域的国产化率提高。 出品 | 张通社 作者 | 张通社 近日, 深圳中科飞测科技股份有限公司 (以下简称“中科飞测”)在上海证券交易所发布了关于拟投资建设项目的公告。公告称, 公司拟在 上海市浦东新区 投资建设“上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目” ,用于高端半导体质量控制设备研发测试中心及产业化基地建设, 拟投资规模14.81亿元 ,将由公司全资子公司飞测思凯浦实施。 公开资料显示, 中科飞测由陈鲁创立于2014年, 是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司。 中科飞测 自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列
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