面向X-band的高频高性能声表面波射频滤波器方案

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来源：上海微系统所，集成电路材料全国重点实验室，异质集成XOI课题组 1 工作简介 无线通信技术的不断演进对射频前端设备提出了更高数据传输速率和更大带宽等需求，除了继续开发日益拥挤的 Sub-6GHz 频谱，基于异质集成衬底探索面向 6 GHz 及以上更高频段的高性能声表面波滤波器也是重要的解决方案之一。近日，上海微系统与信息技术研究所欧欣研究员带领异质集成 XOI 课题组，基于自主研制的高性能 LiTaO 3 /SiC 异质集成衬底，研制出工作频率跨越 4-10 GHz 的高频、低损耗和无杂散模式的声表面波谐振器和滤波器，初步探索并实现了 X 波段的 SAW 滤波器。相关研究工作以 “High-Performance Surface Acoustic Wave Filters for X-Band Applications” 为题发表于国际微波与射频领域权威期刊 IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques (IEEE TMTT) 。论文共同第一作者为上海微 ………………………………