MAU+FFU+DCC在洁净厂房中的应用

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1 引言     为了保证生产产品的高精度、高纯度和高成品率，对空气的洁净度有了更高的要求。洁净室在电子、光伏、航天、医药等诸多行业都得到了广泛的应用。     2 电子行业洁净室的特点 电子行业洁净室在气流组织、洁净等级和温湿度控制上都有它显著的特点：     （1）气流分布要求很均匀。洁净厂房为维持室内高洁净度，必须带走室内所产生的微尘粒子，因此对气流组织有严格的要求。     （2）温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感，所以在洁净室里的工艺区域，空气参数必须严格控制在极小的范围内。     （3）洁净室内新风量大、换气次数高。电子行业的洁净室内有诸如烘箱之类的工艺设备，产热极大，这些 ………………………………