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多晶硅研发实验室(百级)CFD气流组织模拟与优化设计

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-07-19 11:20
    

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多晶硅百级洁净室    多晶硅百级洁净室是指在多晶硅生产过程中,为满足特定的生产环境要求而设立的一种洁净空间。  在多晶硅生产中,对环境的洁净度要求极高,因为微小的颗粒物可能会影响多晶硅的纯度和质量,从而影响其性能和应用。百级洁净室通过一系列的空气净化设备和严格的管理措施,如高效空气过滤器、正压控制、合理的气流组织等,来确保室内空气的洁净度符合生产要求,减少外界污染对多晶硅生产过程的干扰,从而提高产品的质量和可靠性。 本文基于暖通工程设计CFD仿真软件-Clabso,对多晶硅百级洁净室进行CFD气流组织模拟与优化设计 PART.1 百级洁净室案例 现状参数: 1、目前高架地板开孔率为17%; 2、高架地板的高度为30cm; 3、FFU的满布率为 74.17% 4、送风量为 45500CMH 5、回风量为 45500CMH PART. 2 整体气流组织形态 GCMC整体气流 ………………………………

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