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透视静电卡盘市场,谁主沉浮?

粉体网  · 公众号  ·  · 2025-03-11 11:00
    

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在半导体与光学领域中,部分工艺需要使用静电卡盘(ESC)固定衬底来完成,静电卡盘通常处于下腔室位置。同时静电卡盘也可以实现快速加热以及加载射频功率调节等离子体状态的作用。此外静电卡盘在工艺过程中还具有高稳定性、低颗粒性、控温良好等性能。因此,静电卡盘在半导体、光学领域中受到越来越广泛的应用。随着全球半导体行业的蓬勃发展,这一关键零部件的市场格局与技术竞争日益激烈。 美、日市场垄断 据 QY Research 数据,全球静电卡盘的核心厂商包括 Applied Materials 、 Lam Research 、 SHINKO 和 TOTO 。前四大厂商占据了约 92% 的份额,其中最大的生产商为 Applied Materials ,份额占比为 44% 。 美国:两大设备巨头,产品垂直 美国应用材料公司 ( Applied Materials , AMAT )成立于 1967 年,是一家全球领先的半导体设备制造商,行业内的 “ 半 ………………………………

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