坩埚用高纯石英砂的要求及发展趋势

粉体网 · 公众号 · · 2024-10-31 16:00

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石英坩埚是具有不同尺寸大小的圆埚状石英玻璃制品，具有气泡极少（内层）、二氧化硅纯度极高和熔点高等优势，用于直拉法拉制芯片和光伏产业必需的单晶硅棒。在半导体行业，石英坩埚对碱金属和过渡金属等杂质含量有较高要求，碱金属杂质会影响石英坩埚的热学特性，降低石英制品的耐温性，使其熔点降低，高温性能变差；过渡金属杂质会降低导电性，缩减半导体的使用寿命，杂质含量高还会产生气泡和色斑等缺陷，降低石英坩埚的透明度，严重时还会影响石英坩埚成型。《单晶硅生长用石英坩埚》行业标准对于石英坩埚的杂质元素含量要求如下：单晶硅生长用石英坩埚的杂质元素含量要求（单位为微克每克）以地方标准《DB 13/T 5631—2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范》为例，看一看电子专用材料单晶硅生长用 ………………………………

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