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| 打通国产设备堵点 编者按: 近期,万业企业旗下离子注入机龙头——凯世通半导体,持续斩获多家主流客户12英寸离子注入机采购订单。今年起在短短不到半年的时间里就已发货十余台高端离子注入机设备,展现出蓬勃发展的强劲势头。芯谋研究就此专访了万业企业总裁、凯世通董事长李勇军博士,听他讲述万业企业转型集成电路产业的蜕变与飞跃之路。 李勇军: 上海交通大学材料学博士学历,曾获国家科技进步二等奖,深耕科技创投领域多年,在集成电路等高科技产业投资、企业经营管理、专业基金运作等方面具备丰富的实践经验,曾主导投资过多起集成电路重大并购项目。 芯谋研究:离子注入机是与光刻机、刻蚀机并列的三大半导体设备,其中技术难点很多,万业旗下凯世通大束流离子注入机在哪些方面获得了突破
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