研发代工合作—宙讯微电子压电MEMS工艺平台

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宙讯微电子压电MEMS工艺平台是南京宙讯微电子科技有限公司投资创建，于 2022 年起正式对外开放。针对 先进微电子、声电、 MEMS 、 RF 前端 等领域的器件 / 芯片的可控开发、晶圆制造、封装与检测需求，工艺平台 已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台 。平台设备选型满足 6 英寸全自动化晶圆量产需求 ，配备有全自动步进式曝光机、多种镀膜形式、多种刻蚀方法以及多功能的表征设备，确保技术的先进性和产品的高质量。 宙讯微电子压电 MEMS 工艺平台是全球为数不多的专注于研发压电 MEMS 器件开发和量产的公共平台，目前已为全球众多研究团队的项目实施提供微纳加工技术服务和器件级全流程工艺整合开发。我们与海内外多所高校、科研院所和高科技企业保持长期合作，积极推进产业技术服务，扩大与 ………………………………