【IBE】高端集成电路半导体厂房项目接地系统分析

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【导读】 根据若干高端先进制程集成电路厂房工程接地系统的设计及使用现状，基于接地系统设计依据及理论基础，全面进行多方案综合比较。计算分析不同接地方式下的接地电阻，梳理各类接地系统之间的关联性及相互影响，分析接地故障或失败对生产的负面影响，提出接地系统技术重点及其解决措施。最后总结出适用于高端集成电路半导体厂房的接地系统设计方案，方便后续其他类似项目借鉴。 高端集成电路半导体厂房项目接地系统分析 文/许京哲 （中国电子系统工程第二建设有限公司） 0  引言 电子半导体产品的生产过程采用大量灵敏度高、 价格高昂的工艺设备 ， 尤其高端先进制程半导体厂房 项目对防雷接地 、 等电位接地 、 生产设备工作接地 、 屏 蔽接地 、 防静电接地等接地系统的要求极为严苛 。 还 有其他弱电系统的工作接地及 ………………………………