半导体厂务系统介绍

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Cleanroom System [  洁净室系统 ] a, 内装修工程 :( 高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶 /ceiling grid 、无尘涂装、环氧地坪等 ) 、压差控制系统、 ESD 防静电等 ; b, 循环空调系统 :( 包括部分供热与通风系统 , 比如 MAU/OAC 、 AHU 、 FFU 、 DDC 、 FCU 、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器 etc. 、送气风机、排气风机 etc.); c,FOUNDATION: 防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS 系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机 etc. Mechanical System [  机械系统 ] 中央动力 ,Central utility:Mechenical( 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水 PCW 、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统 ; 锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施 ) Specialty Gas and Bulk Gas [  特殊气 ………………………………