半导体自动气柜操作小贴士

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气柜Gas Cabinet ： 指用来放置钢瓶，安全供气，以达到气体同周围环境隔离的装置，主要用于有毒气体（如CO）、腐蚀性气体（如HCl）、易燃易爆气体（如SiH4）、氧化性气体（如Cl2）等危险性气体的供应。 气架Gas Pane l： 指由各种阀门，管件，仪表组成的，由管道连接在一起的，用来连接钢瓶以便安全供气的盘面装置。 GC关键阀门部件名次缩写 HPI—High Pressure Isolation Valve 高压隔离阀 HPV—High Pressure Vent Valve 高压排空阀 PGI—Purge Gas Isolation Valve 吹扫气隔离阀 VVS—Vacuum Venturi Supply Valve 文丘里抽真空阀 LPV—Low Pressure Vent Valve 低压排放阀 MPLI—Manual Process Line Isolation Valve 工艺气手动隔离阀 PLI—Low Pressure Isolation Valve 低压隔离阀 REG—Process Gas Pressure Regulator 工艺气调压阀 气柜P 举例 劳动防护用品PPE： 在日常钢瓶更换过程中，需要使用到的个人防护用品有：安 ………………………………