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共11章节： 01-Introduction MEMS - A Toolbox for Miniaturization (Holden Li, NYTU) 02-Piezoresistive Sensors ‐Principles, Materials, Fabrication and Applications (Holden Li, NYTU) 03-Mechanics and Capacitive Sensors (Holden Li, NYTU) 04-Electrostatic Actuators (Holden Li, NYTU) 05-Thermal MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU) 06-Piezoelectric MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU) 07-MEMS Microfabrication - Introduction (Holden Li, NYTU) 08-MEMS Microfabrication - Bulk Micromachining (Holden Li, NYTU) 09-MEMS Microfabrication - Surface Micromachining (Holden Li, NYTU) 10-Packaging of MEMS (Holden Li, NYTU) 11-MEMS Testing and Reliability (Holden Li, NYTU) 以下为第一章（共97页）部分内容，共97页。其他章节内容，请点击左下角 阅读原文 前往论坛下载。 如果对本资料感兴趣，欢迎前往论坛下载 (第一次注册需要在电脑端进行） https://bbs.eetop.cn/thread-605928-1-1.html 推荐海量芯片知识宝库--EETO
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