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【网络研讨会】COMSOL® 中的等离子体仿真

COMSOL  · 公众号  · 半导体  · 2024-10-16 09:00

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研讨会简介 等离子体是一种非常复杂的宏观电中性电离气体,其中所携带的带电粒子和中性粒子在电磁场作用下,产生电子和离子传输、碰撞化学反应、电磁、热传递和流体流动等多个物理场之间的强耦合相互作用。COMSOL Multiphysics® 提供了等离子体仿真功能,可用于模拟各种工程领域中的非平衡和平衡放电现象,帮助工程师和研究人员设计等离子体反应器、研究电力和电子设备中的放电现象等。 在本次网络研讨会中,我们将演示如何使用 COMSOL 多物理场仿真软件对等离子体进行仿真,包括电气设备、半导体加工中涉及到的直流放电、电容耦合等离子体、电感耦合等离子体、微波等离子体,以及电弧等现象。 研讨会还设有问答环节,参会人员可以在演示过程中提问,工程师将在问答环节中针对与会者的问题进行解答。 活动时间 10 月 17 日(星期四 ………………………………

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