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高灵敏、宽带宽、低噪声聚合物压电加速度计,用于有机电子和可穿戴微系统

MEMS  · 公众号  ·  · 2024-05-19 07:25
    

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压电加速度计在振动传感方面表现出色。在全有机电子微系统的新兴趋势中,聚合物压电加速度计可用作捕获动态信号(例如为有语言障碍的人提供的可穿戴语音助手中的声音振动)的重要前端组件。然而,适合此类应用的高性能聚合物压电加速度计非常罕见。聚偏氟乙烯(PVDF)等压电有机化合物的性能不如锆钛酸铅(PZT)等无机化合物。因此,大多数现有的聚合物压电加速度计的性能指标非常不平衡。它们通常会牺牲谐振频率和带宽来获得与基于PZT的加速度计相当的平带(flat-band)灵敏度,从而导致其噪声密度增加和应用潜力受限。 据麦姆斯咨询报道,加拿大不列颠哥伦比亚大学(University of British Columbia)的研究团队提出了一种新型聚合物压电加速度计,以克服PVDF材料的限制。这种新设计旨在同时实现高灵敏度、宽带宽和低噪声。研究团队制 ………………………………

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