基于光学微腔的微帕级灵敏度超声波传感器

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高灵敏度、小型化的超声探测器在诸多方面发挥着重要应用，例如 医学诊断、光声成像、无损检测 等。然而目前超声检测技术也面临着一些挑战。由于声阻抗不匹配，超声在不同介质的界面上会经历较大的损失，因此，在检测中往往需要利用声阻抗匹配耦合剂来实现高灵敏度。然而，在一些并不适用耦合剂的情况下（例如存在伤口或不能损坏的材料，或高温环境中等），空气耦合的超声检测成为最佳选择。为了补偿超声波在空气中较大的损耗，空气耦合的超声波传感器的灵敏度亟待提高。目前常用超声波传感器多为商业化的压电超声波换能器，它可以通过成熟的工艺来生产，且易于与电路集成。 然而， 为了实现较高的灵敏度，压电换能器的尺寸一般较大，通常为毫米到厘米量级，这大大降低了成像的空间分辨率 。为了突破这些限制，过去十年 ………………………………