AMHS设备国产化还需克服哪些困难？

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在芯片制造的数千道工序中，使用了大量的半导体设备，如广受关注的光刻机、刻蚀机等，还有一些则扮演了工业4.0下智能工厂的核心组成部分，它们可能没有前述这些设备那么受关注，但在芯片制造环节中扮演了重要角色，AMHS设备就是其中之一。 AMHS（AMHS Automatic Material Handling System），全称为自动物料搬运系统，顾名思义它就是用来搬送物料的一套系统，其核心特点是高度自动化，高速运转，高可靠性和高安全性。在晶圆制造工厂中，规模化、生产系统效率最优化、良率是最重要的指标。其中通过设施布局和AMHS系统设计，可以达到人流、物流和信息流的畅通。 由于晶圆制造厂工艺流程复杂，区间布局非常重要。目前12吋晶圆厂已打通了全自动化物流搬运，即通过传输设备（主要是OHT（天车）集群系统）达到tool to tool的高效搬运；通过存储设备设 ………………………………