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头豹研究院联合沙利文发布《2024年中国晶圆检测设备行业研究报告》,半导体工艺控制核心设备,国产化率持续提升
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公众号
· · 2024-05-31 09:28
文章预览
👇点击关注 头豹 ⭐右上角“···” 设为星标 中国晶圆检测设备行业综述 半导体设备可分为前道设备(晶圆制造)和后道设备(封装与测试)两大类。前道设备涉及硅片加工、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗、抛光、金属化等工艺,所对应的核心专用设备包括硅片加工设备、光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、机械抛光设备等。 后道设备则包括封装设备和测试设备,同时后道先进封装工艺也会用到部分前道设备。 半导体过程控制(量/检测)设备为集成电路生产过程中的核心设备之一,贯穿于集成电路生产的全过程,是保证芯片生产良品率的关键。 从工艺上看,量/检测设备可分为检测(Inspection)和量测(Metrology)两大环节。 检测指在晶圆表面上或电路结构中,检测其是否出现异质情况,如颗粒污染、表 ………………………………
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