中科飞龙研发高性能MEMS电场传感器，突破多项关键技术

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北京青年报记者获悉，中关村科学城企业——北京中科飞龙传感技术有限责任公司（以下简称“中科飞龙”）自主研发的高性能MEMS（微机电系统）电场传感器，突破了设计、制造、封装测试及可靠性等多项关键技术，发明了国际最高分辨率的MEMS电场敏感芯片，并在国际上首次实现了MEMS电场传感器的落地应用。 中科飞龙于2015年底注册成立，是一家从事高端传感器系列产品研发、生产、销售的国家高新技术企业，总部位于海淀区中关村科学城四季科创中心。在中科飞龙展示大厅里，北青报记者看到了长、宽仅有5毫米的MEMS电场敏感芯片。据中科飞龙联合创始人、总工程师杨鹏飞介绍，这枚芯片在航空航天、国防、雷电预警、安全生产、智慧电网、石油石化、风力发电等领域发挥着关键作用。 “当前广泛使用的非侵入式静电压传感器，其核心敏感元 ………………………………