Nature | 胶带再显神通：晶圆级超平整金刚石薄膜的规模化制备

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研究背景 　　金刚石因其优异的电学、光学、热学等物理特性在多个领域具有广泛应用前景。虽然已开发出高压高温和CVD等合成方法来替代天然金刚石，但缺乏与硅基半导体工艺兼容的大面积、层状金刚石材料，限制了其广泛应用。现有的超薄金刚石制备方法，如块体切割和异质生长，各有局限：切割法难以规模化，异质生长易形成粗糙表面。虽然可通过抛光改善，但分离过程复杂、耗时且尺寸受限。因此，亟需开发一种简单可扩展的方法来制备和转移高质量超薄金刚石膜。 研究内容 　　近日， 香港大学电机与电子工程系褚智勤教授、香港大学机械工程系林原教授、南方科技大学Kwai Hei Li助理教授、北京大学东莞光电研究院王琦教授 等在Nature上发表题为 Scalable production of ultraflat and ultraflexible diamond membrane 的研究成果， 介绍了一种通过使用粘性 ………………………………