元战略观察 | 人工智能赋能芯片制造故障检测

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导语 人工智能作为工业系统智能化和过程自动化的关键技术，能够深度挖掘数据中潜藏的信息与异常，显著增强工业生产过程中的故障预测能力。传统半导体故障诊断和分类（Fault Diagnostic and Classifi-cation，FDC）系统依赖物理传感器数据，忽视了维护记录中占数据主体、蕴含丰富经验与知识的文本数据，限制了故障识别和深度根源分析能力。来自维也纳技术大学和维也纳工业大学的莱纳斯·科尔（Linus Kohl）、特雷莎·马德雷特（Theresa Madreiter）和法泽尔·安萨里（Fazel Ansari）三位作者探讨了如何利用人工智能增强半导体制造业中的故障检测能力，主张将文本数据纳入FDC系统，通过人工智能增强的方法，结合虚拟传感器技术，精准捕捉文本关键信息，提升故障检测与识别能力，精准诊断故障根源，智能匹配维护人员，优化故障处理流程，降低平均故障检 ………………………………