基于二维半导体ReSe₂的高频-超高频纳米机电谐振器

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《中国科学：信息科学》英文版（ SCIENCE CHINA Information Sciences ）近日发表了电子科技大学的研究成果，文章题为“HF-VHF NEMS resonators enabled by 2D semiconductor ReSe₂”，于2024年第67卷第10期刊出。电子科技大学王曾晖、夏娟、朱健凯、徐博为通讯作者；电子科技大学基础与前沿研究院为第一完成单位。该研究得到了国家杰出青年科学基金、国家自然科学基金原创探索计划等项目的支持。 二维半导体为构建新型纳米器件提供了大量的机会，作为其中的代表二硒化铼（ReSe₂）已在二维激光、晶体管和光电探测器等领域取得了一系列进展。研究者们通过干法转移技术，制备了从单层到超百层的30余个圆形ReSe₂鼓膜谐振，器件工作在高频-超高频范围。 在进一步对器件谐振的实验数据进行总结和分析后，研究人员们成功确定了二维ReSe₂晶体的杨氏模量为110 GPa， ………………………………